권오현 삼성 "450mm 웨이퍼 시대 2018년 가능"

[박계현기자] 300mm 웨이퍼에서 450mm 웨이퍼로 전환되는 시점에 대해 세계 1위 업체인 삼성전자가 예상보다 더 늦어질 것으로 판단하는 것으로 나타났다.

권오현 삼성전자 부회장은 지난 12일 중국 산시성 시안에서 열린 기자간담회에서 "450mm 웨이퍼로 가기 위해선 특정 장비 한 회사만 바꾸는 것이 아니라 전체 장비가 바뀌고 에코시스템이 형성돼야 한다"며 "450mm 웨이퍼용 에코시스템 구축이 완결되는 시기는 불투명하지만 일러야 2018년 정도에나 가능할 것으로 본다"고 전망했다.

네덜란드 노광장비 개발업체인 ASML은 지난 7월 인텔·삼성전자·TSMC 등 주요 고객사들에 450mm 웨이퍼용 극자외선(EUV) 노광기 개발과 자사 지분 인수를 제안하며 자사 지분의 25%를 내놨다.

그 결과, 인텔은 25억유로를 투자해 15%의 지분을, 대만 파운드리 업체인 TSMC는 8억3천800만유로에 ASML 지분의 5%를 취득하기로 했다. 이밖에도 인텔과 TSMC는 ASML에 R&D 지원비 명목으로 각각 8억2천900만유로와 2억7천600만유로를 단계적으로 지원한다고 발표했다.

삼성전자는 지난달 27일 ASML 지분의 3%를 5억300만유로에 인수하고 ASML의 차세대 노광(리소그래피) 기술 연구개발에 향후 5년간 2억7천600만유로를 투자할 계획이라고 밝힌 바 있다.

인텔과 TSMC, 삼성전자가 R&D 및 지분인수에 투자한 총액을 합하면 약 2조원에 달한다.

권오현 부회장은 "이번 개발 지원은 450mm 웨이퍼용 장비 개발을 가속화한다는 개념의 지원일 뿐 실제 업계가 450mm 웨이퍼로 넘어가기까지는 좀 더 시간이 걸릴 것 같다"며 "(450mmm로 가기 위해선) 굉장히 많은 변화를 줘야 하고 설사 노광 장비 개발을 완료하더라도 자동차에 타이어가 없으면 굴러가지 않는 것처럼 전체 장비가 바뀌어야 450mm로의 세대 전환이 가능하다"고 설명했다.