"이재용도 직접 갔는데"…ASML 수장 피터 베닝크, 화성시장 만난 까닭

[아이뉴스24 장유미 기자] 반도체 업계 '슈퍼 을'로 불리는 네덜란드 반도체 장비 회사 ASML의 수장인 피터 베닝크 최고경영자(CEO)가 경기 화성시를 찾아 그 배경에 관심이 쏠린다.

베닝크 CEO는 4일 서철모 경기 화성시장과 만나 'ASML 화성 반도체 클러스터' 조성과 관련한 협력 방안을 논의했다. ASML이 추진 중인 'ASML 화성 반도체 클러스터' 조성과 관련해 화성시에 감사를 표하고 본격 사업 추진과 협력 방안을 논의하기 위해서다.

ASML은 최첨단 반도체 공정의 필수 장비인 극자외선(EUV) 노광장비를 글로벌 반도체 기업들에게 독점 공급하는 곳이다. EUV 노광 기술은 극자외선 광원을 사용해 웨이퍼에 반도체 회로를 새기는 미세 기술로, 인공지능(AI)·5세대(5G) 이동통신·자율주행 등에 필요한 최첨단 고성능·저전력·초소형 반도체 생산에 필수적이다.

최근에는 EUV 노광장비 공급이 수요에 비해 턱없이 모자라 삼성전자·TSMC·인텔 등 반도체 업체들이 장비를 사기 위해 줄을 서고 있는 상태다. 이재용 삼성전자 부회장의 경우 지난 2020년 10월 네덜란드 ASML 본사를 찾아가 버닝크 CEO에게 EUV 장비 공급을 직접 요청하기도 했다.

베닝크 CEO는 지난달 영국 파이낸셜타임즈와의 인터뷰에서 "반도체 제조 장비를 지난해에 비해 올해 더 많이 생산할 계획"이라며 "내년에는 올해보다 출하량을 늘릴 예정이지만, 적어도 2년간은 극자외선(EUV) 노광장비 등의 공급이 어려울 것으로 보인다"고 말해 업계를 긴장시키기도 했다.

이 같은 상황 속에 ASML이 경기 화성에 EUV 캠퍼스를 조성하는 사업을 추진하면서 국내 반도체 업계들은 기대감을 드러내고 있다. 실제로 ASML은 오는 2025년까지 2천400억원을 투자해 화성 동탄2신도시 1만6천㎡ 부지에 극자외선(EUV) 및 심자외선(DUV) 노광 장비 엔지니어를 위한 트레이닝센터와 제조 센터 등이 들어서는 첨단 클러스터를 조성하기로 했다. 이를 위해 지난해 11월에는 산업통상자원부·경기도·화성시 등과 투자 협약을 체결한 바 있다.

서 시장은 "ASML 반도체 클러스터는 동탄역에 조성 중인 KAIST 화성 사이언스 허브와 연계해 시너지 효과를 낼 것"이라며 "인구 100만 대도시를 앞둔 화성시의 신성장 동력을 확보할 수 있도록 적극적으로 지원하겠다"고 말했다.

또 윤석열 대통령 당선인이 마크 루터 네덜란드 총리와 통화하면서 양국간 반도체 협력을 더욱 확대하기로 한 만큼, 업계에선 ASML과 삼성전자 등이 향후 협력을 더 확대할 것으로 기대하고 있다.

베닝크 CEO는 "화성시의 든든한 지원 덕분에 ASML 화성 반도체 클러스터 프로젝트가 순조롭게 진행되고 있다"며 "이번 사업과 더불어 지역사회 발전에 기여할 수 있도록 시와 적극적으로 협력할 계획"이라고 밝혔다.