'슈퍼 을' ASML, 화성에 반도체 클러스터 첫삽…2400억원 투자

[아이뉴스24 민혜정 기자] 반도체 장비 업계에서 '슈퍼 을'이라 불리는 ASML이 한국에 2천400억원을 투자한다.

ASML은 경기 화성시에 '뉴 캠퍼스'라는 이름의 재(再)제조, 트레이닝 시설의 기공식을 오는 16일 개최한다고 15일 밝혔다.

해당 시설은 반도체 생산에 필수적인 심자외선(DUV), 극자외선(EUV) 노광장비 관련 부품의 재제조가 이뤄지고, 첨단기술 전수를 위한 교육이 이뤄진다. ASML은 이 시설에 지난해부터 2025년까지 5년간 2천400억원을 투자하기로 했다. 시설 규모는 1만6천㎡에 달한다.

이번 기공식에는 피터 베닝크 ASML 최고경영자(CEO), 김동연 경기도지사, 문동민 산업통상자원부 무역투자실장 등과 국내 주요 반도체 기업 등 관계자 160여명이 참석한다.

ASML은 웨이퍼(반도체 원판)에 회로를 새기는 노광장비를 주로 만드는 기업으로, 세계 반도체 장비 분야 시가총액 1위다. 특히 10나노미터(nm, 1nm는 0억분의 1m) 미세공정에 필수인 EUV 노광장비를 전 세계 독점 공급하고 있다.

산업부는 ASML 시설의 한국 유치를 위해 2020년부터 경기도, 화성시, 코트라(KOTRA), ASML 등과 협력해 왔다. 이어 지난해 11월에는 관계기관이 모여 'ASML 화성 반도체 클러스터 조성을 위한 투자협약'을 체결하기도 했다.

또 최근에는 차세대 EUV 장비 규제 개선 방안을 발표하는 등 한국 투자에 걸림돌이 되는 규제를 지속 완화하고 있다고 한다.

ASML의 뉴 캠퍼스 착공으로 최근 글로벌 반도체 장비 시장의 60% 이상을 차지하는 기업 4곳이 모두 한국에 투자했다.

시장조사업체 가트너에 따르면 반도체 장비 시장 점유율은 미국 어플라이드머티리얼즈가 18.6%로 1위, 네덜란드 ASML이 18.1%로 2위다. 미국 램리서치와 일본 도쿄일렉트론은 각각 점유율 15%, 13.4%로 3, 4위를 기록하고 있다.

어플라이드머티리얼즈는 지난 9월 차세대 메모리반도체 장비 연구개발(R&D)센터를 신설하기로 했고, 램리서치는 지난 4월 반도체 제조 장비 R&D 센터를 국내에 열었다. 앞서 지난해 11월 도쿄일렉트론 역시 반도체 제조 장비 R&D 센터를 증설하기로 발표했다.

문동민 실장은 축사를 통해 "국내 첨단 반도체 클러스터 중 하나인 ASML의 화성 뉴 캠퍼스가 첫 삽을 뜨게 돼 기쁘다"며 "이 시설이 한국의 '반도체 초강대국 달성전략' 추진과 함께 한국과 네덜란드 두 국가간 첨단산업 생태계 협력 강화에 크게 기여할 것"이라고 말했다.