국내 반도체 공정기술, SEMI 국제표준 채택

[박계현기자] 국내 반도체 공정기술이 처음으로 국제표준으로 채택됐다.

한국반도체산업협회(KSIA)는 공장 자동화 설비를 변경할 경우 장비간 통신을 돕는 소프트웨어 표준 E5-0712을 국제반도체장비재료협회(SEMI)에서 인증받았다고 14일 발표했다.

한국반도체산업협회 관계자는 "우리나라가 세계 최고의 반도체 공정기술을 보유하고 있는데 반해 반도체공정 분야의 표준화 활동은 미미한 실정"이라며 "반도체공정에 사용되는 850여개의 SEMI 국제표준 중 국내에서 제정한 표준은 그동안 한건도 없었다"고 설명했다.

국제표준 SEMI E5-0712는 반도체 장비 간 통신 규격에 관한 것으로 반도체 제조 팹의 자동화에 필수적인 소프트웨어 분야 표준이다. 팹 자동화 설비변경 시 발생하는 장비간 통신오류를 낮춰 장비 간 통신 편의성을 높인 것이 특징이다.

협회 관계자는 "이번 국제표준 제정으로 국제표준을 실질적으로 주도해 나갈 수 있는 계기를 마련했다"며 "향후 반도체공정분야 표준화 선점을 위한 의미 있는 출발점이 될 것"이라고 말했다.